HORIBA寬範圍壓敏質量流量計日本D700WR製造
HORIBA寬範圍壓敏質量流量計日本製造

D700uF（微流）專為≤5SCCM 流量應用而設計。≤5SCCM
流量控製在高縱橫比工藝中非常關鍵。
專用組件和新開發的內部低流量標準可實現低至 0.025SCCM 的高精度流量控製。

HORIBA寬範圍壓敏質量流量計日本製造

HORIBA寬範圍壓敏質量流量計日本製造

微流量壓力不敏感質量流量模塊

D700uF（微流）專(zhuan) 為(wei) ≤5SCCM 流量應用而設計。≤5SCCM
流量控製在高縱橫比工藝中非常關(guan) 鍵。
專(zhuan) 用組件和新開發的內(nei) 部低流量標準可實現低至 0.025SCCM 的高精度流量控製。

• 低至 0.025SCCM 的流量控製能力

• 精確調節氣體(ti) 控製，增強工藝可調性

• ≤ 100ms 升壓響應和 MFC 到 MFC 偏差控製

• 實現高生產(chan) 率和更佳工藝性能

• 內(nei) 部流量計量

• 所有製造產(chan) 品均具有可靠的性能

• 狀態監視功能

• 提供更多內(nei) 部數據以實現更智能的故障預測

• PFA 噴嘴具有更好的閥門關(guan) 閉性能和耐腐蝕性能

• 堅固耐用，顆粒風險低，減少停機時間並優(you) 化產(chan) 量

*1：請聯係我們(men) 以獲取支持的氣體(ti) 類型和滿量程流量。
*2：流量精度可保證低至 0.1 SCCM N₂ 當量。
*3：這是在 25 ℃ 和 ≤ 1.0 × 10 -3 Pa(A) 下的保證值。
*4：這是在我們(men) 采用校準 N₂ 氣體(ti) 的條件下保證的值。設置時間可能因氣體(ti) 類型和操作環境條件而異。
*5：壓力擾動必須小於(yu) 每秒 20% 的壓力變化和 ±70 kPa/秒（±10 PSI/秒）。
*6：EtherCAT ®是德國 Beckhoff Automation GmbH