米兰国际在线娱乐緊湊型質量流量計D700T控製器
米兰国际在线娱乐緊湊型質量流量計控製器

D700T是專為關鍵半導體製造工藝設計的性能最佳的壓力不敏感質量流量模塊。D700T采用HORIBACRITERION基於壓力的流量測量和控製技術，提供業界的可重複和準確的性能。此外，D700T的之處在於采用雙閥結構的高級流量控製算法，使客戶的氣體輸送係統能夠解決多個挑戰。

米兰国际在线娱乐緊湊型質量流量計控製器

米兰国际在线娱乐緊湊型質量流量計控製器

D700T是專(zhuan) 為(wei) 關(guan) 鍵半導體(ti) 製造工藝設計的性能最佳的壓力不敏感質量流量模塊。D700T采用HORIBACRITERION基於(yu) 壓力的流量測量和控製技術，提供業(ye) 界的可重複和準確的性能。此外，D700T在於(yu) 采用雙閥結構高級流量控製算法，使客戶的氣體(ti) 輸送係統能夠解決(jue) 多個(ge) 挑戰。

全局快速沉降時間<100ms(一組一組，升壓和降壓)

入口和出口壓力不敏感性能

先進的故障檢測，診斷壓力傳(chuan) 感器移位、閥座泄漏和流量精度變化

士0.8百分比(華氏涅度10-100百分比)

士0.08%華氏度(0.2-10%6華氏度的)

士0.05%S.P./C(10-100華氏度)士0.005%華氏度/C(0.2-10華氏度))

士0.5%蘇格蘭(lan) 元/年

士0.15%S.P.(10-100%F.S.)

士0.015%6華氏度(0.2-10%華氏度)

<100亳秒(1-100華氏度)

<500亳秒(0.2-1華氏度)

士1%標準差(10-100%6華氏度)士01%標準差(0.2-10華氏度))

≤0.02%F.S.或0.015 SCCM(N，)，以較大者為(wei) 準

D717T

工藝氣體(ti) (不可配置)

不可配置

M:240-450kPa(A)(不可配置)

>240千帕(D)

<53.3千帕(A)

0.5-100華氏度

士0.8百分比(華氏涅度20-100百分比)

士0.16%華氏度(0.5-20%6華氏度)

士0.05%S.P./°C(20-100°F.S.)士0.01%S.S./°c(0.5-20°F.s.)

士1%蘇格蘭(lan) 元/年

士0.15百分比(華氏涅度20-100百分比)

士0.03%6華氏度(0.5-20%6華氏度)

正常關(guan) 閉/壓電執行器

<100亳秒(1-100華氏度)

<500毫秒(0.5-1%華氏度)

士2%S.P.或士0.5%F.S.，以較大者為(wei) 準

士2%S.P.或士0.5%F.S.，以較大者為(wei) 準

士19標準偏亞(ya) (20-100百分比標準偏無)

士0.2%華氏度(0.5-20%華氏座)

<0.1%F.S.或0.015SCCM(N，)